ویژگی
● حداکثر درجه حرارت RT{0}} درجه
● اسپلیت نوع کوره، می توانید کوره را باز کنید.
● می تواند بیش از 2 کانال گاز را با درجه خلاء 10Pa با استفاده از پمپ مکانیکی و منبع تغذیه RF 500W برای افزایش سیگنال معرفی کند.
● مواد عایق الیاف سرامیکی آلومینا با کارایی بالا
● دقت کنترل دما 1± درجه
● با عملکرد هشدار دمای بیش از حد
● فن خنک کننده می تواند دمای بدنه را کاهش دهد
|
مدل |
SK{0}}CVD-12TPB4 |
|
ابعاد: طول منطقه گرمایش استاندارد (میلی متر) |
440 میلی متر |
|
ابعاد: قطر لوله استاندارد (میلی متر) |
∮60 میلی متر |
|
حداکثر دما |
1200 درجه، دمای کار مداوم 1100 درجه. |
|
ولتاژ (V) |
220 1P |
|
نوع ترموکوپل |
K |
|
عنصر گرمایش |
سیم مقاومت آلیاژی HRE |
|
دما دقت |
± 1 درجه |
|
نرخ گرمایش |
0-30 درجه / دقیقه تنظیم رایگان |
|
مواد اتاقک |
با استفاده از مواد فیبر میکروکریستالی آلومینا با کیفیت بالا |
|
ساختار کوره |
ساختار دو لایه هوا خنک، دمای سطح کمتر از 60 درجه است |
|
کنترل کننده دما |
ابزار کنترل دما PID هوشمند، 30 بخش برنامه، کنترل SSR، عملکرد تنظیم خود پارامتر PID. برنامه افزایش دما، حفظ حرارت برنامه، خنک کننده برنامه |
|
منبع تغذیه RF 500W |
توان خروجی: 5-500W ±1 درجه فرکانس RF: 13.56 مگاهرتز ±0.005٪ قدرت بازتابی: تا 100 وات مطابقت: خودکار رابط RF: 50Ω، نوع N خنک کننده: خنک کننده هوا منبع تغذیه: AC 208-240V، 50/60HZ |
|
سیستم جریان دقیق 4 کانال گاز |
1. سرعت جریان در مقیاس کامل (5، 10، 30، 50، 100، 200، 300، 500) میلی لیتر در دقیقه. 10 لیتر در دقیقه 2. نوع شیر: شیر سولنولد. 3. موقعیت استراحت سوپاپ: به طور معمول بسته است. 4. فشار دیفرانسیل: (50-300)kpa 5. مقاومت در برابر فشار: 3mpa. 6. دمای عملیات: 5-45 درجه 7. مواد: فولاد ضد زنگ 316L. |
|
سیستم خلاء |
5*{1}}پا اتصال سریع KF25، دم از فولاد ضد زنگ، شیر فلپر دستی و فلنج، پمپ خلاء سیستم های خلاء بالاتر نیز می توانند به صورت اختیاری مجهز شوند.
|
|
OEM/ODM خوش آمدید |
|
لوازم جانبی استاندارد
دستکش حرارتی|قلاب بوته|ترموکوپل|بلوک لوله|راهنمای کاربر |ابزارها|پمپ خلاء| لوله کوارتز|فلنج|حلقه آب بندی|شیلنگ گاز 10 میلی متری|پشتیبانی فلنج، سیستم گاز، قدرت RF.
اختیاری
منطقه گرمایش مختلف برای انتخاب شما؛
کنترل صفحه نمایش لمسی LCD برای انتخاب
پورت RS485/USB برای اتصال کامپیوتر برای انتخاب.
تصویر جزئیات برای CVD-PECVD



کاربرد
این دستگاه عمدتاً برای رشد نانوسیم ها یا تهیه انواع رشد لایه نازک به روش CVD استفاده می شود.
ضمانتنامه
یک سال گارانتی و پشتیبانی فنی مادام العمر
نکات ویژه:
1. مواد مصرفی مانند المنت حرارتی، لوله کوارتز، بوته نمونه و غیره در دوره گارانتی نمی باشد.
2. خسارت ناشی از استفاده از گاز خورنده و گاز اسیدی مشمول گارانتی نمی باشد.
تگ های محبوب: سیستم pecvd سه منطقه گرمایش 1200c، تولید کنندگان سیستم pecvd منطقه سه گرمایشی چین 1200c، تامین کنندگان





